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當前主流的SCR脫硝清灰工藝為聲波清灰器、蒸汽吹灰器和聲波+蒸汽吹灰器三種。目前中小型鍋爐以聲波清灰器清灰工藝為主，200MW以上機組大部分聲波+蒸汽吹灰器，一些特殊性的行業，比如玻璃爐窯煙氣中的灰粘性較大的，只采用蒸汽吹灰器。
下面就這三種工藝的的優缺點分析如下表：
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